전자에너지손실 데이터란?
- 전자에너지손실데이터(Electron Energy Loss Spectrum)의 정의
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가속된 전자가 소재와 충돌하여 잃은 에너지를 크기에 따라 분산시켜 스펙트럼으로 나타낸 데이터
손실된 에너지크기에 따라서 탄성산란으로 에너지를 잃지 않은 영손실 피크, 저손실 전자에너지피크, 고에너지손실피크 데이터로 구분
- 전자에너지손실데이터의 정보
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저손실 전자에너지 피크(Low loss EELS)
고손실 전자에너지 (High loss EELS)
- 전자에너지손실데이터의 활용
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수소(H)~우라늄(U)까지 원소주기율표상 모든 원소의 검출이 가능하여 소재의 구성원소와 각 원소의 함량 비율을 분석할 수 있음
전자에너지손실데이터는 소재를 구성하고 있는 원자의 전도대 전자구조 정보를 가지고 있으므로 전자에너지손실 스펙트럼의 형상을 파악하여 원자의 화학결합상태와 배위수 등 물리적
및 화학적 정보를 제공함동일한 원소로 이루어진 다른 소재에 대한 전자에너지손실 스팩트럼도 다르기 때문에 소재의 구분이 가능함
투과전자현미경에서의 분석영역은 나노영역이고, 침투깊이는 약 100nm의 박막이며, 조성분포는 시편 평면 또는 두께에 따라 분석될 수 있음
산업의 첨단화에 따라서 핵심소재 분석을 위해서는 나노미터(㎚)이하 공간분해능과 향상된 에너지분해능을 갖는 기술과 최근 개발 중이거나 상용화되고 있는 신소재에 대해서 세계적 수준의
전자구조 측정 기술 개발 필요